新闻分类

产品分类

磁力耦合联轴器: HCL型磁力耦合联轴器; HCD型磁力耦合联轴器; HCM型磁力耦合联轴器

磁力耦合联轴器应用: 磁密封电机; 风泵; 高真空用传动件; 聚氨酯密封泵

磁组件: 磁力架

电机转子

磁齿轮: 磁性外齿轮

磁控溅射靶源: 园形阴极; 铁磁性材料应用磁; 平面磁控阴极靶; 圆柱磁控阴极靶; 旋转磁控阴极靶

电弧镀

离子源

测量设备: 手持式磁极测量仪; 磁极观察片

磁力泵

永磁涡流联轴器

真空扩散泵阀

真空角阀

磁滞离合器: 电机保护器

友情链接

当前位置->首页->新闻中心-> 永磁式平面磁控溅射靶

永磁式平面磁控溅射靶

所属类别：[行业新闻] 新闻时间：[2019-06-20] 作者：[昊兴科技]

专利号： 01255955 专利人：张兴全

永磁式平面磁控溅射靶，包括永磁体，在永磁体的上端面装有导磁极帽，导磁极帽的横截面形状可以为矩形、梯形、楔形、三角形、锥形、半圆形或其它形状，在永磁体的下端面装有导磁调整垫，导磁调整垫固定在极靴上，极靴通过升降调节螺杆支撑在磁控靶体上，外圈永磁体的外侧面上封装有短路磁极。本实用新型提供了一种能使空间磁场均匀，，提高镀膜质量，靶材利用率可达６０％，磁性调整范围大，能消除杂散磁场，在非使用区不产生电弧的永磁式平面磁控溅射靶。联系电话：13823228656